Гибридные турбомолекулярные насосы — TG-ML

Гибридные турбомолекулярные насосы — TG-ML оснащены полностью магнитным подвесом ротора(включая магнитные подшипники). Отличает насосы представленной серии так же ультранизкий характер вибраций и ультрачистый вакуум.

Характеристики гибридных турбомолекулярных насосов TG-ML:

- при стандартной установке уровень вибрации в радиальном и осевом направлении составляет менее 1 нм;
- при установке на специальную опциональную компенсирующую вибрации платформу уровень вибрации равен менее 0,1 нм.

Насосы TG-ML осуществляют процессы и операции в сверхчистом высоком вакууме с учетом нанометровой точности. Ультранизкий вибрационный уровень обеспечивается конструкцией насоса, а так же программным обеспечением по управлению движением ротора.

Области применения турбомолекулярных насосов TG-ML:

- электронные микроскопы, обладающие сверхвысоким разрешением;
- высоковакуумные комплексы аналитического характера;
- исследования в нанотехнологии;
- EUV-литография;
- производство и исследования в микроэлектромеханических системах(MEMS);
- устройства контроля качества производимых CD-дисков;
- электронно-лучевая литография;
- анализ поверхностей при помощи XPS-спектров;
- трансмиссионные электромикроскопы(TEM).

Технические характеристики:

Модель

Быстрота действия по N2, л/с

Предельное остаточное давление, мм.рт.ст

Макс.
потребляемая
мощность, кВт

Макс. форвакуумное давление, Па

Мин. масса (зависит
от типа фланца), кг

Мин. время старта, мин

TG390ML

340

7,5E-10

0,7

400

14

2

TG420ML

400

7,5E-10

0,7

400

14

2

TG900ML

900

7,5E-10

1,2

500

34

4

TG1300ML

1300

7,5E-10

1,2

500

34

4

Гибридные турбомолекулярные насосы — TG1300MU

Гибридные турбомолекулярные насосы — TG1300MU оснащены полностью магнитным подвесом ротора. Применяются насосы данного типа для сверхвысоковакуумных устройств с повышенным уровнем сжатия легких газов.

При помощи насоса TG1300MU можно получить сверхчистый и сверхвысокий вакуум.

TG1300MU спроектированы с учетом эффективного откачивания легких газов при высоковакуумном и сверхвысоковакуумном давлении. Трудности,возникающие при откачке легких газов(включая водород) являются главной причиной почему невозможно получить сверхвысокий вакуум при помощи обычных турбомолекулярных насосов. Это происходит потому, что основной объем газовыделений при высоких показателях давления приходится именно на водород, в то время сжатие водорода в турбомолекулярных насосах минимальное.

Все преимущества насосов серии TG-M так же можно отнести и к насосам серии TG-MU.

Области применения турбомолекулярных насосов TG-MU:

- приборы аналитической области, необходимые для исследования поверхностей;
- сверхвысоковакуумные тонкопленочные устройства;
- исследования в физике высоких энергий;
- исследования в ядерной физике;
- устройства ускорения действия элементарных частиц.

Технические характеристики:

Модель

Быстрота действия по N2, л/с

Предельное остаточное давление, мм.рт.ст

Макс.
потребляемая
мощность, кВт

Макс. форвакуумное давление, Па

Мин. масса (зависит
от типа фланца), кг

Мин. время старта, мин

TG900MU

900

7,5E-11

1,2

500

42

4

TG1300MU

1300

7,5E-11

1,2

500

42

4

Гибридные турбомолекулярные насосы — TG900MU

Гибридные турбомолекулярные насосы — TG900MU оснащены полностью магнитным подвесом ротора. Применяются насосы данного типа для сверхвысоковакуумных устройств с повышенным уровнем сжатия легких газов.

При помощи насоса TG900MU можно получить сверхчистый и сверхвысокий вакуум.

TG900MU спроектированы с учетом эффективного откачивания легких газов при высоковакуумном и сверхвысоковакуумном давлении. Трудности,возникающие при откачке легких газов(включая водород) являются главной причиной почему невозможно получить сверхвысокий вакуум при помощи обычных турбомолекулярных насосов. Это происходит потому, что основной объем газовыделений при высоких показателях давления приходится именно на водород, в то время сжатие водорода в турбомолекулярных насосах минимальное.

Все преимущества насосов серии TG-M так же можно отнести и к насосам серии TG-MU.

Области применения турбомолекулярных насосов TG-MU:

- приборы аналитической области, необходимые для исследования поверхностей;
- сверхвысоковакуумные тонкопленочные устройства;
- исследования в физике высоких энергий;
- исследования в ядерной физике;
- устройства ускорения действия элементарных частиц.

Технические характеристики:

Модель

Быстрота действия по N2, л/с

Предельное остаточное давление, мм.рт.ст

Макс.
потребляемая
мощность, кВт

Макс. форвакуумное давление, Па

Мин. масса (зависит
от типа фланца), кг

Мин. время старта, мин

TG900MU

900

7,5E-11

1,2

500

42

4

TG1300MU

1300

7,5E-11

1,2

500

42

4

Гибридные турбомолекулярные насосы — TG3260M

Гибридные турбомолекулярные насосы — TG3260M

Гибридные турбомолекулярные насосы — TG3260M оборудованы подвесом ротора полностью магнитного типа. Ротор имеет магнитные подшипники.

Отличительные особенности насоса TG3260M:

- насосы данной модели являются абсолютно безмасляными(обладают подвесом ротора полностью магнитного типа);
- полностью автоматические;
- при сбое в питании ротор будет поддерживаться в состоянии магнитной левитации благодаря встроенной батареи, это дает время для полной остановки ротора методом электрического торможения;
- автоматизированная система 5-ти осевого активного электромагнитного управления позволяет исключить касание ротором неподвижных частей насоса(таким образом насос имеет неограниченный ресурс эксплуатации);
- насос оборудован автоматической системой балансировки;
- в конструкции предусмотрена система по управлению скоростью вращения ротора, что необходимо для осуществления запуска ротора при высоких давлениях на низких оборотах, а так же при понижении давления система выводит частоту вращения ротора на максимум для выполнения максимального сжатия и достижения максимальной быстроты действия;
- TG3260M — безвибрационный насос;
- насос так же имеет встроенную систему самостоятельной диагностики;
- цифровой дисплей марки RS232C
- установка оборудования возможно в любом положении в пространстве;
- компактные габариты;
- энергосберегающая система;
- быстрый запуск и остановка.

Технические характеристики:

Модель

Быстрота действия по N2, л/с

Предельное остаточное давление, мм.рт.ст

Макс.
потребляемая
мощность, кВт

Макс. форвакуумное давление, Па

Мин. масса (зависит
от типа фланца), кг

Мин. время старта, мин

TG390M

340

7,5E-10

0,7

400

14

2

TG420M

400

7,5E-10

0,7

400

14

2

TG900M

900

7,5E-10

1,2

500

34

4

TG1300M

1300

7,5E-10

1,2

500

34

4

TG2400M

2400

7,5E-10

1,2

200

45

4

TG3260M

3200

7,5E-10

1,2

400

80

13

TG3460M

3400

7,5E-10

1,2

400

73

13

Гибридные турбомолекулярные насосы — TG2400M

Гибридные турбомолекулярные насосы — TG2400M

Гибридные турбомолекулярные насосы — TG2400M оборудованы подвесом ротора полностью магнитного типа. Ротор имеет магнитные подшипники.

Отличительные особенности насоса TG2400M:

- насосы данной модели являются абсолютно безмасляными(обладают подвесом ротора полностью магнитного типа);
- полностью автоматические;
- при сбое в питании ротор будет поддерживаться в состоянии магнитной левитации благодаря встроенной батареи, это дает время для полной остановки ротора методом электрического торможения;
- автоматизированная система 5-ти осевого активного электромагнитного управления позволяет исключить касание ротором неподвижных частей насоса(таким образом насос имеет неограниченный ресурс эксплуатации);
- насос оборудован автоматической системой балансировки;
- в конструкции предусмотрена система по управлению скоростью вращения ротора, что необходимо для осуществления запуска ротора при высоких давлениях на низких оборотах, а так же при понижении давления система выводит частоту вращения ротора на максимум для выполнения максимального сжатия и достижения максимальной быстроты действия;
- TG2400M — безвибрационный насос;
- насос так же имеет встроенную систему самостоятельной диагностики;
- цифровой дисплей марки RS232C
- установка оборудования возможно в любом положении в пространстве;
- компактные габариты;
- энергосберегающая система;
- быстрый запуск и остановка.

Технические характеристики:

Модель

Быстрота действия по N2, л/с

Предельное остаточное давление, мм.рт.ст

Макс.
потребляемая
мощность, кВт

Макс. форвакуумное давление, Па

Мин. масса (зависит
от типа фланца), кг

Мин. время старта, мин

TG390M

340

7,5E-10

0,7

400

14

2

TG420M

400

7,5E-10

0,7

400

14

2

TG900M

900

7,5E-10

1,2

500

34

4

TG1300M

1300

7,5E-10

1,2

500

34

4

TG2400M

2400

7,5E-10

1,2

200

45

4

TG3260M

3200

7,5E-10

1,2

400

80

13

TG3460M

3400

7,5E-10

1,2

400

73

13